高温炉操作规程
1 准备工作a,检查电源线接触是否良好b,检查连接线是否正常c,检查冷却水是否正常d,双温区高温炉,检查密封性是否正常e, 准备所需工具:无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘2 开炉a,打开主电源开关b, 向炉体充ya气至大气压,打开炉体前门,取下石墨盖板c, 将输送车开关打至 OUTd, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物3装料a,将石墨坩埚放置于输送车平台上,使用限位杆确定其位置,依次装入硅料。b、拔出限位杆,输送车开关打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,将坩埚装入炉膛内,并确定输送车会到初始位置。c、装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门4 抽气a、检查炉门是否关紧,真空系统是否密封b、置 DP 按钮于 DP ON,打开干式真空泵,打开真空计开关 P1G1,打开干式真空泵 。阀门,开始抽气测试泄漏率,c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min,打开ya气阀门充ya气(20L/min)。加热 先打开水环泵 再按 RUN,开始工艺加热。冷却a、加热结束后,按工艺条件进行冷却。
使用高温炉长期停机时应注意的事项:
1、高温炉和控制器须在相对湿度不超过85的条件下工作,并且没有导电粉尘,爆i炸性气体或腐蚀性气体。当需要加热诸如油脂的金属材料时,大量的挥发性气体会影响并腐蚀电加热元件的表面,从而破坏并缩短寿命。因此,加热时应及时防止和密封或正确打开和取出。
2、控制器应限制在0-40°C的环境温度范围内使用。
3、根据技术要求,定期检查各电炉与控制器之间的连接是否良好,移动时指示器是否卡住,并用电位计检查仪器是否有磁钢,消磁,拉丝及弹片。由于疲劳,平衡损坏等导致的错误增加。
高温炉产品特点
● 炉体、智能控制器分体设计,美观、大方,炉门采用侧开门设计。● 采用两侧衬板式加热元件,便于更换炉丝,采用进口超高温发热体,抗i氧化性能更加优异,大大增加使用寿命。● 采用陶瓷纤维绝热,大幅度的提高了升温速度,并减少了热能消耗,与传统的马弗炉相比重量减轻1/2,升温速度提高1倍,大大节约能源,寿命提高3.5倍;保温效果好,炉外表温度低。
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